場發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡,主要用于觀察和分析各種材料的表面形貌、微觀結(jié)構(gòu)和化學成分。其工作原理主要包括以下幾個方面:
1、電子源:場發(fā)射掃描電鏡使用場發(fā)射電子槍作為電子源,這種電子槍能夠產(chǎn)生高亮度、高相干性的電子束。場發(fā)射電子槍的原理是利用強電場使得金屬的電子脫離束縛,形成電子束。這種方法產(chǎn)生的電子束具有很高的亮度和較小的能量分散,有利于提高成像分辨率。
2、電子光學系統(tǒng):電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡和光闌,進行聚焦、偏轉(zhuǎn)和整形,最終形成一個細小的探針。這個探針可以在樣品表面進行掃描,從而獲取樣品表面的形貌和結(jié)構(gòu)信息。
3、掃描系統(tǒng):掃描線圈控制電子束在樣品表面進行逐行掃描,每次掃描一行,然后向下移動一個像素的距離,繼續(xù)掃描下一行。這樣,整個樣品表面都會被電子束覆蓋到。掃描過程中,電子束與樣品相互作用,產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號。
4、信號檢測與成像:場發(fā)射掃描電鏡配備有多種探測器,用于收集不同種類的信號。其中,二次電子探測器主要用于收集二次電子,以獲取樣品表面的形貌信息;背散射電子探測器用于收集背散射電子,以獲取樣品的成分和晶體結(jié)構(gòu)信息。這些信號經(jīng)過放大、處理后,可以生成相應的圖像。
5、真空系統(tǒng):為了確保電子束能夠在樣品表面產(chǎn)生足夠的信號,以及防止電子槍和樣品受到污染,需要維持一定的高真空環(huán)境。通常,真空度要求在10^-4帕斯卡以下。
總之,場發(fā)射掃描電鏡的工作原理是通過場發(fā)射電子槍產(chǎn)生高亮度、高相干性的電子束,經(jīng)過電子光學系統(tǒng)聚焦、偏轉(zhuǎn)和整形,形成細小的探針。探針在樣品表面進行掃描,與樣品相互作用產(chǎn)生各種信號。這些信號被探測器收集并處理,最終生成反映樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)和成分信息的圖像。